Eftir að flókin mynstur hringrásar hafa verið ætuð inn í kísilskúffu, verður að fjarlægja hlífðarljósþolsgrímuna-lag af harðri, kross-tengdri fjölliðu- alveg og hreint. Þetta er gert í heitu baði með öflugum, árásargjarnum lífrænum leysum, oft hitað upp í yfir hundrað gráður á Celsíus. Dýfihitarinn inni í þessari rokgjarna, ætandi efnafræði verður að vera úr efni sem leysiefnin geta ekki leyst upp, bólgnað eða mengað. PTFE er það efnafræðilega þögla, óvirka efni.
Hlutverk PTFE hitara í ljósafþreyingu
Afþreyingarbaðið samanstendur venjulega af blöndu af leysiefnum eins og N-metýl-2-pýrrólídóni (NMP), dímetýlsúlfoxíði (DMSO) og sterkum basískum amínum, hitað í 80–110 gráður. PTFE hitari er staðalvalið fyrir þetta forrit. Efnafræðilega óvirka slíðurinn er fullkomlega ónæmur fyrir árásargjarnum leysiefnum, sem annars myndu ráðast á venjulegt plast og tæra málma.
PTFE hitari veitir hreinan, stöðugan og nákvæman hita án þess að losa málmjónir eða önnur mengunarefni sem gætu sett sig á óspillta flötið. Hið slétta, slétta PTFE-yfirborð sem ekki-lítur þolir uppsöfnun uppleystrar ljósþolsleifar og heldur fullkomlega hreinu hitayfirborði yfir endurteknar lotur. PTFE hitari photoresist stripping wafer ferli tryggir samræmda hitadreifingu og lágmarkar staðbundna suðu eða högg sem gæti truflað viðkvæmu obláturnar.
„PTFE hitari er kemískt hljóðlátur, heitur fingur í baði af öflugum leysiefnum, sem fjarlægir grímuna án þess að skilja eftir sig einn einasta snefil af sjálfum sér, á sama tíma og oblátið er óspillt og rafmagnslaust.“
Öryggissjónarmið
Leysiefnablandan er eldfim, eitruð og er oft notuð nálægt suðumarki. Rétt hönnun tanka, þ.mt lokuð girðing, jarðtenging og loftræsting, er nauðsynleg til að koma í veg fyrir eld, útsetningu fyrir gufu eða hættu á rafstöðueiginleikum. Íhaldssamur wattaþéttleiki er nauðsynlegur til að viðhalda stýrðri upphitun og forðast högg á leysiefni eða staðbundna ofhitnun á PTFE hlífinni.
Rekstrarhagur
Notkun PTFE hitara í þessu ferli gerir:
Efnafræðilegt ónæmi fyrir árásargjarnum leysiefnablöndum.
Viðhald á algjöru hreinleika obláta og rafmagnsheilleika.
Langtíma-áreiðanleiki án tæringar eða niðurbrots.
Jafnvel, -laus upphitun sem er laus við leifar sem er mikilvæg fyrir há-hálfleiðaraframleiðslu.
Niðurstaða
PTFE dýfingarhitari er mikilvægur, efnafræðilega ónæmur varmagjafi sem gerir kleift að hreinsa, algerlega fjarlægingu ljósþols úr oblátum í hálfleiðaraframleiðslu. Með því að veita stöðugan,-mengunarlausan hita í mjög árásargjarnu leysibaði, tryggir PTFE hitari frumeindahreinleika sem er nauðsynlegur nútíma rafeindatækni. Hinu fullkomna, gallalausu yfirborði tölvukubba er náð með blöndu af efnafræðilegri árásargirni og óvirkri, áreiðanlegri upphitun.
